◎원리

전자총에서 발생한 전자빔을 시료 표면에 주사하고, 전자빔과 시료의 상호작용으로 발생하는 이차전자(Secondary Electron)를 검출하여 시료 표면의 미세구조와 형상을 관찰합니다.

◎특징

· 최대 300,000배의 고배율 관찰 가능

· 최대 3.0 nm의 분해능(SE Image) 제공

· 200 V ~ 30 kV 범위의 가속전압 조절 가능

· 5축(X, Y, Z, Tilt, Rotation)스테이지를 이용한 시료 위치 및 관찰 방향 조절 가능

· 최대 직경 150 mm, 높이 60 mm의 시료 장착 가능

· 자동 초점 및 밝기·명암 조절 기능 제공

◎활용

· 양극·음극 활물질의 입자 크기 및 형상 관찰

· 전극 표면의 형태 및 균일성 관찰

· 충·방전 전후 전극의 표면 형상 및 균열 발생 여부 비교

· 배터리 소재의 기초 표면 관찰 및 스크리닝

◎적용 시료

· 양극·음극 활물질 및 전극 분말

· 양극·음극 전극 및 전극 단면 시료

· 도전재, 바인더 등 전극 구성 소재

· 분리막 및 기타 배터리 구성 소재

◎유의 사항